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光电器件
gdqj.ybzhan.cn仪表网旗下在光纤布拉格光栅（FBG）刻写、半导体掩膜检测、精密微加工等工业与科研领域，稳定可靠的深紫外（DUV）激光光源是实现高精度制造与测量的重要基础。德国MLase公司出品的MLI系列准分子激光器，是适配此类严苛应用的高性能光源；其中型号为MLI 500 ArF SP LC的设备，整合波长特性、功率稳定与工业级可靠性，成为复杂工业流程中的核心配套单元。
该设备是采用氟化氩（ArF）作为工作气体的准分子激光器，输出波长为193纳米的深紫外光。其型号代码“500”代表标准重复频率为500赫兹，“LC”表明此型号配备主动液体冷却系统，可实现稳定、连续的长时间运行；后缀“SP”指向特定的定制化配置，例如特殊脉冲模式或硬件接口。整机采用紧凑化、模块化设计，可在标准型号基础上根据个性化需求进行调整。
| 参数类别 | 技术规格 |
|---|---|
| 波长与气体类型 | 193 nm，氟化氩 (ArF) 气体 |
| 重复频率 | max 500 Hz |
| 脉冲能量（稳定） | 6 mJ |
| 平均输出功率 | 3.0 W |
| 脉冲稳定性 (Sigma) | ≤ 2% |
| 光束尺寸 (FWHM) | 6 x 3 mm |
| 光束发散角 | 2 x 1 mrad |
| 核心冷却方式 | 主动水冷（可使用生活用水或外部热交换器） |
该系列激光器具备良好的工业可靠性，拥有较长的正常运行时间与较低的运行成本，内部采用固体开关技术，相较于传统闸流管开关，使用寿命更长、维护需求更低。同时具备优异的能量与光束稳定性，稳定的脉冲能量输出和均匀的光束轮廓，可确保加工结果具有良好的一致性与重复性，脉冲能量稳定度（标准差）控制在2%以内，能够为微米级工艺提供可靠保障。此外，“LC”型号集成的主动水冷系统，允许直接使用普通生活用水进行冷却，无需复杂的去离子水循环系统，大幅简化集成难度，提升工业现场长时间连续工作的热管理能力。
光纤布拉格光栅（FBG）刻写是其核心应用方向之一，可为光纤传感器和通信器件制造提供高质量光源；在半导体与显示制造领域，可用于光刻掩膜版（Reticle）的缺陷检测，以及微光学元件、TFT等精密结构的加工与划线；在材料加工方面，适配陶瓷、玻璃、聚合物及复合材料的精密微钻孔、切割与表面结构化处理；同时也可作为脉冲激光沉积（PLD）的适配光源，用于制备高温超导、光学等多种功能薄膜，满足科学研究与薄膜制备的应用需求。
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